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光氧催化利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有的效果。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
1）超越了传统的处理装置，能在有人在场的环境中持续灭菌、除尘，对人体副作用。能广谱地截获杀灭空气中的各类细菌，测试证明对金黄色葡萄球菌、枯草杆菌、黑色变种芽孢及自然菌杀灭，有效去除可吸入颗粒，达到1-10万级洁净度。
（2）有害气体异味，初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电位时，氧分子迅速离子化。失去电子的氧分子变成正极性氧离子（O2+），而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负极性氧离子（O2-），结果是氧离子的两级分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2 等氧聚集的离子群，具有氧化性，可在很短的时间内将污染空气中的有害成分氧化分解为无害的产物和水； O2+e（3.6eV）→?O+O H2O+e（5.09eV）→?OH+HO+?OH→?OH2
（3）研究表明：活性自由基?OH 的氧化电位（2.8eV）比氧化性极强的臭氧的氧化电位（2.07eV）还高出35％。?OH 自由基与有机物的反应速度高出几个数量级。而且?OH自由基对氧化污染物的反应是无选择性的，可引发链式反应，直接将污染空气中的大部分有害物质氧化为二氧化碳和水或矿物质。
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